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认真做好每一件喜欢的事，把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事
薄膜应力测试仪是一种用于物理学领域的工艺试验仪器，于2009年4月30日启用。主要适用于4、6英寸兼容的硅片测试，测试范围正负2个GPa。其功能是进行氮化硅、氧化硅薄膜的应力测试。
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