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激光脉冲沉积(PLD)的优点

2021.4.18
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coco5517

认真做好每一件喜欢的事,把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

  1. 易获得期望化学计量比的多组分薄膜,即具有良好的保成分性;

  2. 沉积速率高,试验周期短,衬底温度要求低,制备的薄膜均匀;

  3. 工艺参数任意调节,对靶材的种类没有限制;

  4. 发展潜力巨大,具有极大的兼容性;

  5. 便于清洁处理,可以制备多种薄膜材料。

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