电容式传感器是将被测量(如尺寸、压力等)的变来化转换成电容量变化的一种传感器。
9.4.1 工作原理及类型
由物理学可知,在忽略边缘效应的情况下,平板电容器的电容量为
(F)
式中
—真空的介电常数源, =8.854×10-12F/m;
ε—极板间介质的相对介电系数,在空气中,ε=1;
S—极板的遮盖bai面积(m2);
δ—两平行极板间的距离(m)。
上式表明,当被测量δ、S或ε发生变化时,会引起电容du的变化。如果保持其中的两个参数不变,而仅改变另一个参数,就可把该参数的变化变换为单一电容量的变化,zhi再通过配套的测量电路,将电容的变化转换为电信号输出。根据电容器参数变化的特性,电容式传感器可分为极dao距变化型、面积变化型和介质变化型三种,其中极距变化型和面积变化型应用较广。