真空光电直读光谱仪的用途一般是为了做钢铁的炉前快速分析，用这种仪器不仅可以分析钢铁中的合金元素，同时也可以分析它们中的碳、磷、硫三个元素。由于分析碳、磷、硫要用位于200nm以下波段范围的灵敏线（例如，用碳-193nm, 磷-178. 2nm及硫-180. 73nm等谱线）而在此波段的辐射将被空气所吸收。因此，必须将光电直读光谱仪光学系统置于真空之中,才能进行这些元素的分析。目前，国内外生产的光电直读光谱仪多数为真空光电直读光谱仪，少数非真空型的光电直读光谱仪只分析200nm以上波段范围的光谱线，主要是对有色金属和其合金的分析。
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