“ 红外线”一词源于“pastred”，是超出红色之外的意思，表示该波长在电磁辐射频谱中所处的位置 。“thermography”一词是采用同根词生成的，意思是“温度图像”。热成像的起源归功于德国天文学家SirWilliamHerschel，他在1800年使用太阳光做了一些实验。Herschel让太阳光穿过一个棱镜并在各种颜色处放置温度计，利用灵敏的水银温度计测量每种颜色的温度，结果发现了红外辐射。Herschel发现，当越过红色光线进入他称为“暗红热”区域时，温度便会升高。“暗红热”即是现在人们所说的红外热能，处于被称为电磁辐射的电磁波频谱区域。
二十年后，德国物理学家ThomasSeebeck发现了温差电效应。在该发现的基础上，意大利物理学家LeopoldoNobili于1829年发明了热量倍增器（即早期版本的热电偶）。这种简单的接触式设备的工作原理是两个异种金属之间的电压差会随着温度的变化而变化。过了不久，Nobili的合作伙伴MacedonioMelloni把热量倍增器改进为热电堆（以串联方式安装热量倍增器）并将热辐射集于热电堆上，这样，他可以检测到9.1米（33英尺）远处的人类体热。
1880年，美国天文学家SamuelLangley使用辐射热检测仪探测到304米(1000英尺）以外的牛的体热。辐射热 检测仪测量的不是电压差异，而是与温度变化有关的电阻变化。SirWilliamHerschel的儿子SirJohnHerschel于1840年使用名为“蒸发成像仪”的设备制作出第一幅红外图像。热图像是薄油膜的蒸发量差异形成的，可以借助油膜上反射出的光线进行查看。
热像仪是一种无需与设备直接接触便可检测出红外波长频谱中的热图案的设备。早期型号的热像仪称为“光导探测器”。从1916年至1918年，美国发明家TheodoreCase利用光导探测器做实验，通过与光子（而不是热能）直接交互作用产生信号，最终发明了速度更快、更灵敏的光导探测器。20世纪四十年代和五十年代期间，为了满足日益增长的军事应用领域的需求，热成像技术不断演变，取得了长足的发展。德国科学家发现，通过冷却光导探测器可以提高整体性能。
直到20世纪六十年代，热成像技术才被用于非军事应用领域。虽然早期的热成像系统很笨重、数据采集速度缓慢而且分辨率不佳，但它们还是被用于工业应用领域，例如检查大型输配电系统。
20世纪七十年代，军事应用领域的持续发展造就了第一个便携式系统。该系统可用于建筑诊断和材料无损测试等应用领域。20世纪七十年代的热成像系统结实耐用而且非常可靠，但与现代热像仪相比，它们的图像质量不佳。到20世纪八十年代初期，热成像技术已广泛应用于医疗、主流行业以及建筑检查领域。经过校准后，热成像系统可以制作完全的辐射图像，这样便可测量该图像中任意位置的辐射温度。辐射图像是指包含图像内各点处的温度测量计算值的热图像。
安全可靠的热像仪冷却器经过改进，取代了沿用已久的用于冷却热像仪的压缩气或液化气。
此外，人们还开发并大量生产了成本较低、基于管道的热电光导摄像管(PEV)热成像系统。
虽然不能进行辐射测量，但PEV热成像系统轻巧灵便、携带方便，而且无需冷却便可操作。
20世纪八十年代后期，一种称为焦平面阵列(FPA)的新设备从军事应用领域转移至商业市场。焦平面阵列(FPA)是一种图像传感设备，由位于镜头焦平面处的红外传感探测器的阵列（通常为矩形）组成。
这大大改进了原始的扫描式探测器，从而提高了图像质量和空间分辨率。现代热像仪上的典型阵列的像素范围为：16×16至640×480。从这个角度来说，像素是可以检测红外能量的FPA的最小独立元素。对于特殊应用场合，阵列的像素可以达到1000×1000以上。第一个数字代表每个垂直列中的像素数，第二个数字代表屏幕上显示的行数。例如，160×120阵列的总像素为19,200（160像素×120像素=19,200总像素）。
自2000年以来，使用多个探测器的FPA技术的发展不断加快。长波热像仪用于检测8µm至15µm波长范围内的红外能量。微米(µm)是一个长度测量单位，等于1毫米（0.001米）的千分之一。中波热像仪用于检测2.5µm至6µm波长范围内的红外能量。长波和中波热成像系统均提供全面的辐射型号，图像融合度和热灵敏度通常为0.03SDgrC(0.054SDgrF)或更低。
这些系统的成本在过去十年间降低了十倍以上，但质量得到了大幅度提升。此外，用于图像处理的计算机软件的应用也有了显著的发展。现在，几乎所有商业类型的红外系统均使用软件来协助分析和撰写报告。报告可快速生成并在互联网上以电子形式发，或以一种常见格式（例如PDF）保存，而且还可以刻录在多种数字存储设备上。
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