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试样引入ICP光源的主要方式有:雾化进样(包括气动雾化和超声雾化进样)、电热蒸发进样、激光或电弧和火花熔融进样,对于特定元素还可以采用氢化物发生法进样。其中,以气动雾化方式最为常用。原因包括(1)样品在ICP光源中的原子化与激发是在惰性气体Ar的氛围进行的,因此不容易氧化电离;(2)样品的原子化与激发过程是在ICP焰炬的中心进行的,温度很高,且与空气接触的机会少,因此不容易氧化电离;(3)ICP焰炬中存在大量的电子,抑制了待测元素的电离。