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EDS主要使用于微观样品的元素分析,它是靠检测元素电子跃迁产生的特征X射线来确认元素存在的,只能确认元素,不能确认化和价态。所以广泛应用于材料相关的地方。如果你要表征化和态,EDS无能为力。而它的优势就是你可以检测到极其微量的样品,可以小到几十纳米的样品。