系统由两个主要部分组成：
（1）TEOM传感器单元：包括采样器和质量传感器。
（2）TEOM控制单元：包括操作终端和控制电子系统。
TEOM 是锥形元件振荡微天平（Tapered Element Oscillating Microbalance）的缩写。
震荡微天平是个石英锥形管，其根部固定，可换式滤膜置于按自然震荡频率的锥形管顶端，震荡频率取决于锥形管的物理特性及滤膜质量,电子系统能连续监测此频率的变化。
当微粒聚集于滤膜上时，锥形管的自然震荡频率相应减少。根据质量和频率间的相关变化，微处理器能及时计算出滤膜上所累计颗粒物的总质量‵质量流量和质量浓度。
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