波谱仪是一种用于地球科学、材料科学、考古学领域的分析仪器，于2010年12月29日启用。
技术指标
分析范围：原子数(Z): 5-92；定量分析精度:主要元素>2%, 次要元素大于5%；加速电压0.2-30kv；二次电子成像分辨率1-5um；放大倍数50-300000,；电子束流：10-12~10-5A；谱仪检测限为10ppm。 [1]
主要功能
电子探针利用聚焦得非常细(微米-纳米级)的高能电子束轰击样品表面，激发待测样品的有用信息(如特征X射线、二次电子、背散射电子等)，通过分析这些信息达到对样品微区成分分析和形貌观察的目的。配备有5道谱仪，既可以进行二次电子像(SEI)、背散射电子像(BSI)、透射电子像、吸收电子像、特征X射线的线或面分布像等，又可以进行元素分析，包括定性和定量分析，以及元素的点、线和面分析。广泛应用于地球科学、材料科学、考古学、冶金等研究领域。
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