臭氧越来越多的在净化水上用于取代传统的加氯消毒。其基本应用有四：
1.饮用水生产；
2.食品和制药行业的用水消毒；
3.游泳池的消毒；
4.废水处理后的消毒，在排放到自然水循环之前
一直以来，加氯消毒都是水处理消毒的Z主要的方法。然而，在加氯系统的运输和应用中都存在显著的健康和安全风险，成本高昂，环境保护问题也很棘手，水循环过程中会有氯气释放。氯还会生成有害及容易致癌的副产品氯化烃。
因此，近年来用臭氧消毒的方法发展很快，两者具有相同的消毒作用，都是非常强力的氧化剂，杀灭水中杂质（特别是微生物）并将之分解为无害的残余物，通过水系统的过滤模块过滤出来。臭氧的优势在于当它和微生物发生反应后，会分解成完全无害的氧气成分。
臭氧发生器的工作原理非常简单：纯净的空气或氧气通过反应单元（陶瓷或不锈钢）的两电极之间高电压放电，一般为12,000伏。高电压引起氧原子之间产生反应，形成稳态的臭氧分子。
含水量的重要性：
以下是三个主要的需要测量供给气或者处理过程中的氧气的水气含量的原因，
发生器电极灭弧；
防止形成硝 酸导致的系统部件腐蚀；
增加臭氧发生效率
如果供给气中含有大量的湿气，电有电弧，特殊情况下会发生触点和气室壁间的短路。该情况会损坏电极，以及系统内壁从而导致故障及高昂的修理费。
作为臭氧、氮气和水气等混合气中的电弧衍生物，硝 酸及其他亚硝化物会腐蚀电极和系统部件，同样Z终导致臭氧发生器的故障。
臭氧发生器的效率和供给气中的湿气含量成反比。如果湿气含量从50ppm下降到5ppm（从-50到-70 ℃露点），该发生器的效率可以至少增加20%。
一般空气或氮气供给气的Z低指标为-50 ℃露点，如果一旦通过合适的干燥控制将湿气含量降低到-70 ℃露点的水平，其设施的工作效率和寿命可以得到显著的增长。
测量技术：
密析尔仪表的阻抗式湿度仪可以用来监测供给气中的湿气含量，可以是在线（Easidew 或Cermet II），也可以是采样点检测（EAP 或 MDM300）。结合干燥控制系统，一台在线湿度仪能够确保供给气的足够干燥度，以维持发生器的效率和寿命。
警告：基于臭氧的极强氧化性，湿气传感器不能用于测量成品的露点。毕竟此时的露点完全不重要，因为成品臭氧本来就将注入水里进行净化。
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