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靶材是X射线灯里面的材料,一般使用电子轰击靶材产生射线,然后用射线照射样品,对样品的元素或者结构进行测试。靶材不同产生的x射线的波长就不同,其可测量的元素就不同,一般x射线仪器都采用铜靶子,还有钴靶的。特征x射线是针对测量样品而言的,并不能反映靶材信息,但是对靶材有一定的要求,如果靶材激发的x射线,不能激发样品生成样品的特征谱(即样品的特征x射线的谱图),那就需要换靶材,激发更强的x射线。