为了能在停泵时防止真空泵油返到被抽容器，内置停泵防返油装置就十分重要。
真空泵防返油阀原理：可靠的进气口防返油装置，双重保护，不返油，保证了真空系统安全。
保护一：停泵时隔离阀关闭真空系统；
保护二：停泵时关闭油路并向泵腔充气。
真空泵运行期间，控制活塞在油压作用下顶着弹簧保持密封。防倒吸阀的阀盘由于自重保持在较低位置(阀门开启)。泵停机后，油压下降，弹簧将控制活塞向上顶。这样就在油箱与防倒吸阀的活塞之间形成了一个通路。以上为真空泵防返油阀原理的介绍，对比用弹簧来控制防返阀的真空泵，防返油效果更好，故障率较低，维修更加简单。
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