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TEM系统组件

2021.8.05
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南州

分析测试行业的搬山工

  TEM系统由以下几部分组成:

  l 电子枪:发射电子。由阴极,栅极和阳极组成。阴极管发射的电子通过栅极上的小孔形成射线束,经阳极电压加速后射向聚光镜,起到对电子束加速和加压的作用。

  l 聚光镜:将电子束聚集得到平行光源。

  l 样品杆:装载需观察的样品。

  l 物镜:聚焦成像,一次放大。

  l 中间镜:二次放大,并控制成像模式(图像模式或者电子衍射模式)。

  l 投影镜:三次放大。

  l 荧光屏:将电子信号转化为可见光,供操作者观察。

  l CCD相机:电荷耦合元件,将光学影像转化为数字信号。


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