准分子激光烧蚀系统的技术指标

　　1、激光器：波长 193nm气体准分子激光器；最大激光能量输出： 200mJ ；脉冲宽度：4～20ns；脉冲频率 1～20Hz，可连续或分档调节。；激光脉冲能量稳定性：< 2%（1 sigma）；样品表面能量密度： 达到30 J/cm2 以上；冷却装置：空冷；激光安全等级：1级。

　　2、束斑尺寸：5~160 ？m diameter；在束斑尺寸5~160 μm范围内具有相同能量密度且不小于30 J/cm2。烧蚀斑点不少于13个尺寸可选，全部由软件切换，切换时间< 0.5s。样品表面光斑为光栅的真实成像，确保剥蚀坑轮廓清晰底部平坦。

　　3、光学系统：具有反射照明、透射照明系统和偏振装置，软件控制。观象系统有放大和聚焦功能，电脑屏幕上显示的可视样品范围小于0.71 mm × 0.53 mm。配置高清数字彩色CCD影像显微系统，图像光学分辨率 < 1μm。配置显微成像系统或广角数字CCD和彩色LCD样品导航屏幕，便于观察和选取烧蚀位置。

　　4、进样系统：自动控制的工作台，移动范围50mm×50mm。 工作台移动步进分辨（Step resolution）好于0.1μm 。可移动更换的样品。