工作台
X坐标行程：200mm Y坐标行程：100mm X、Y坐标分辨率：0.0002mm 测量准确度：（1+L/100）μm，其中 L为测量长度，单位：mm
平工作台尺寸（mm）：260×270 圆工作台直径：ф213mm 圆工作台角度分划范围：0°~ 360° 圆工作台角度分度值：30"
主显微镜立柱 倾斜范围：±12° 倾斜角度分度值：30'
测角目镜 角度分划范围：360° 角度分度值：1'
轮廓目镜 角度分划范围：±7° 角度分度值：10'
顶针装置
顶针间的最大夹紧长度：700mm 顶针间能容纳的最大直径：ф100mm
高顶针架
高顶针架最大夹紧长度：200mm 高顶针架能容纳的最大直径：ф250mm
数显分度头
数显分度头角度分划范围：0°~ 360° 数显分度头角度分度值：5″
光学定位器
测量范围（mm）：5 ~ 200 测杆垂直方向摆动范围：±3°
最小探测孔径：ф5mm 最大探测深度：15mm
定位变动性：<1μm 测量力（N）：0.1±0.03
仪器主机外形尺寸(mm)
长×宽×高=1300×1250×800
仪器重量 450kg
环境要求
室内温度20℃±1℃，相对湿度小于60%
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