热分析仪检测设备主要是测量热物性值中热渗透率的一种设备，可以进行微小领域（微米等级）、纳米薄膜、Sic（单晶体、多晶体）、AIN等的测量。热分析仪检测设备利用激光对样品进行调制循环加热、通过红外线放射量的变化，将样品内部异常部分的检测或不均匀性的热特性可视化。内载红外宏观光学系照相机，可高倍率观察。并且，使用样品加热器的热传播检查和简易温度测量都可以进行。

热分析仪检测设备测量原理：样品上镀金属薄膜，再通过光加热式热反射法。金属的反射率有随表面温度变化的特性，所以通过捕捉加热用激光和同轴的照射的检测用激光的强度变化来测量表面相对的温度变化。热量从金属薄膜传到样品，表面温度响应产生位相延迟，该位相延迟会跟随热的特性而变化。通过测量此加热光和检测光的位相延迟得出热渗透率。

热分析仪检测设备特点

1.热分析仪热物理性显微镜是测量热物性值中热渗透率的一种设备；

2.热分析仪检测设备可以通过点、线、面测量样品的热物性；

3.该设备可以测量以往难以测量的微米等级的热物性值的分布；

4.非接触方式且高分辨率的热物性测量设备；

5.检测光spot直径3μm、高分辨率来测量微小领域的热物性（点、线、面  测量）；

6.因为可改变深度范围来测量，所以从薄膜、多层膜到散装材料都可测量；

7. 基板上的样品也可测量；

8. 热分析仪激光非接触式测量；

9.可检测薄膜下的裂纹、孔隙、脱落等问题。