等离子清洗机不放电或者放电不稳定是什么原因导致的？答案往往是因为等离子发生器和阻抗匹配有问题。当等离子发生器进行能量传输时，如果反应腔体和电极（以下简称负载）阻抗和传输线的特征阻抗不相等，就易在传输过程中形成反射，有部分能量就会因发热等方式而损失，而非全部被负载吸收，如此一来就会直接影响等离子表面处理的效果。因此，匹配器对等离子清洗机是非常重要的，你对它有所了解吗？今天就让我们来了解一些这方面的基础知识。

　　1 反应腔体、电极与等离子发生器之间的桥梁

　　阻抗匹配器可以看做是等离子清洗机反应腔体、电极、等离子发生器之间的桥梁。在高频放电回路中，为了保证用于放电区的功率消耗保护振荡器，通常会在高频电源与等离子腔体、电极之间设置阻抗匹配网络，按不同放电条件进行调节，使高频发生器的输出阻抗与负载阻抗相匹配，让等离子清洗机放电稳定，工作效率高。

　　2 阻抗匹配的工作原理

　　对一个带负载的直流回路来说，负载匹配的条件是一定要让外电路的负载电阻与电源内阻相等。直流回路的这一Z大功率定理实际上也存在于对应的交流回路中。下图为具有负载阻抗z的高频回路。

　　设电源内阻抗即输出阻抗为（a+jb）Ω，那么要想在负载上获得Z大的功率输出，就需让负载阻抗与高频发生器输出阻抗“共轭匹配”。共轭匹配的结果就是把总阻抗变成纯电阻的，这意味着负载阻抗Z必须等于（a-jb)Ω。

　　事实上，为控制回路中流过的高频电流值过大，通常会将高频发生器的输出阻抗设计成纯电阻的，阻值一般为50Ω。但高频放电阻抗通常为电容性阻抗，其值会随等离子清洗机反应腔体放电条件的变化而波动，这就要调节匹配网络的阻抗和放电阻抗相加合，使加合后的模拟负载的阻抗与高频发生器输出阻抗相一致，这样就能实现匹配。下图所示为一种典型的高频匹配网络。

　　换句话说则是要根据各种放电条件来调节匹配网络，使模拟负载等于50Ω。此外，为防止匹配网络与等离子清洗机的反应腔体、电极间因反射引起流过的无效电流较大，从而造成发热和不必要的功率损耗，一般要将匹配网络的位置尽可能靠近等离子清洗机的反应腔体。

　　3 影响等离子清洗机匹配效果的几个主要因素

　　等离子清洗机的匹配器需要与等离子发生器相匹配，不可用小功率的匹配器去适应大功率的等离子发生器，要想等离子清洗机取得良好的匹配效果，还要注意以下几个方面。

　　1）在设计等离子清洗机的反应腔体和电极的时候，要与匹配器供应商充分沟通有关的技术参数，以满足匹配要求；

　　2）安装匹配器时，应尽量将其安装在靠近等离子清洗机反应腔体和电极的位置，以缩短连线，减少功率损耗；

　　3）气体流量、真空度、处理产品的材质和数量等因素都可能会对阻抗匹配产生影响，需根据实际情况作出调整。