清洗原理
无机气体被激发为等离子态→气相物质被吸附在固体表面→被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子→产物分子解析形成气相→反应残余物脱离表面。
清洗特点
1、离子清洗机不分处理对象的基材类型，均可进行处理，如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料等，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。
2、容易采用数控技术，自动化程度高。
3、具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高。
4、正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证。
5、在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。
首页
