扫描电子显微镜及电子能谱仪是一种用于材料科学、矿山工程技术、冶金工程技术领域的分析仪器，于2015年5月8日启用。
技术指标
扫描电镜设备主要技术参数：1、分辨率：二次电子（SE）像分辨率在高真空时：30kV时优于3.0nm，3kV时优于10.0nm；背散射电子(BSE)像分辨率（VPwithBSD），30kV时优于4.0nm。2、放大倍数：5倍－100万倍。3、最大试样高度：145mm，最大试样直径：250mm。AZtecX-Max50电制冷型能谱仪分析元素范围：Be4-Cf98。分辨率：20,000cpsMnKα：≤127eV；FKa：≤66eV；CKa：≤56eV；其它：≤133eV。最大输入计数：>750,000cps，最大输出计数：>500,000cps。
主要功能
它可以进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸，晶体、晶粒取向测量。
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