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等离子刻蚀机有哪些缺点？

2021.9.03
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coco5517

认真做好每一件喜欢的事，把每一件要做的事都变成喜欢并认真去做的事

　　1、 硅片水平运行，机片高（等离子刻蚀去PSG槽式浸泡甩干，硅片受冲击小）；

　　2、下料吸笔易污染硅片（等离子刻蚀去PSG后甩干）；

　　3、传动滚轴易变形（PVDF，PP材质且水平放置易变形）；

　　4、成本高（化学品刻蚀代替等离子刻蚀成本增加）。

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