路泄露排查从气源泄露和内部泄露下手
气源泄漏检查：
1.先切断主机、温度流量控制器的电源。打开气瓶上的主阀并将气源分压调节到0.4MPa。
2.将各气源的两级压力调节器的分压控制手柄返回原位，监测分压表，10分钟之内压力应没有明显下降。如果有泄漏，应仔细检查各气路管线的接头，并找出泄漏的位置。泄漏的接头只要上紧到足以阻止泄漏即可。过紧会损坏套圈和接头。
注意：检测气路是否泄漏时，应注意不要弄潮湿任何电气或电子部件，否则会严重损坏部件。
内部泄漏检查：
系统内部气体连接管线在仪器发货前都作过仔细的检查和泄漏试验。如果系统未作任何升级改动或维修，一般不需检查泄漏。用户在安装气路系统的有关部件（如石英裂解管）时，必须严格按照本手册中有关章节规定的操作步骤进行。只要正确安装这些部件，一般不必检查泄漏。
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