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钯、镍、铂及其合成物，常被用作制造氢气传感器的活性材料。具体来说，这些活性元素，可被看作可与氢元素发生反应的催化材料，且氢元素能与这些元素相容，还可溶于该元素。目前，作为为活性元素，钯、铂、镍元素在氢传感器中得以广泛应用。
这些活性材料在吸收了氢分子之后，会改变其本身的物理参数。例如，在金属氧化物半导体为基础的电容式氢气传感器中，氢原子在金属栅中扩散，并在钯氧化物表面上形成了一个偶极层，该偶极层导致了活性元素的功函数的改变。
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