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电感耦合等离子体原子发射光谱的单色器通常采用光栅或棱镜与光栅的组合。
目前较常使用的是中阶梯光栅。中阶梯光栅常数为微米级。
刻线密度10~80线/mm；闪烁角60°左右；入射角大于45°；常用谱级20~200级。
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