多功能真空镀膜机的主要功能简介

2021.10.19

coco5517

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　　多功能真空镀膜机是一种用于物理学、材料科学、电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2019年11月22日启用。

　　主要功能

　　系统可镀镀制各种介质膜、光学膜、透明导电膜、铁电薄膜等如：各种金属钛、铂、金等、常见氧化物、Si, Al2O3, TiO2, SiO2,氧化铪等，以及半导体激光器常见膜系，如高反膜，减反膜等。系统可蒸镀最多6种有机材料如：C60、NPB、TPBi等材料；设备可与手套箱对接方便在手套箱中操作，采用前滑动开门结构。

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