理论函数

　　压阻式真空传感器是压力变送器的一种，是将需要测量的真空变量转换为可输出的标准信号，输出信号与真空变量之间有一定的函数关系，主要用于测量过程中真空参数的测量与控制 [2] 。典型的二线制压阻式真空传感器的测量范围0 ～ 100 kPa、工作电压为12 ～ 36 V，工作电流为4 ～ 20 mA 的标准信号输出，采用V /I 转换电路且零位可自由迁移。压阻式真空传感器输出信号和真空度的函数关系式如公式( 1) ：

　　I = 4 + ( 20  -4) P' ( 1)

　　式中： P'为某一真空状态下的示值，kPa； P 为传感器的满量程值，kPa； I 为P'真空状态下对应的输出电流值，mA。

　　通过公式( 1) 可以得出某一真空传感器在测量范围内任意真空度对应的理论电流输出值，为其准确信号输出提供参考。

　　在对真空传感器校准时，由于测量误差是按照测量准确度等级划分的，典型的压阻式真空传感器

　　测量误差和准确度间的函数关系如公式( 2) ：

　　△A = ( 20 － 4) δP ( 2)

　　式中： △A 为测量误差的上下限值； P 为此传感器的满量程值，kPa； δ 为某一真空传感器标注的准确度等级。

　　准确度等级是传感器的主要技术指标，是一个定性的概念，通过公式( 2) 可以换算出真空传感器在某一准确度等级下的测量允许误差限，可以判断真空传感器标注的准确度等级是否正确