整个分析程序有四个部分组成：干燥，灰化，原子化，净化。
干燥
目的是除去溶剂，保留待测物，温度升至略低于沸点，在慢慢升至略高于沸点，通常在100℃左右，保持10-20s
灰化
灰化目的是除去有机质和易挥发基体，而待测物不损失。一般温度在100-1800℃，灰化时间10-30s。
原子化
高温使待测物原子化，在原子化完全或尽可能多的原子化前提下，原子化温度尽可能低，可以延长炉体寿命。通常为1800-3000℃，原子化时间为5-10s
净化
在高温下，加热3-5s，以除去管内样品残渣，以减少和避免记忆效应。注意净化时间要短，以防止损坏炉体。
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