电子探针仪是一种用于物理学、材料科学领域的分析仪器，于2017年06月05日启用。
技术指标
1. 二次电子像分辨率：5nm，背散射电子像分辨率：20nm（拓扑像、成分像）；
2. 加速电压：0 ～ 30kV；束流范围：10-5～ 10-12A；图像放大倍数：×40～×300,000；
3. 波谱系统分析元素：5B -92U；定量分析精度：识别0.2 wt%以上的元素。
主要功能
1、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分鉴定，固体材料表面涂层、镀层进行分析；
2、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域；。
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