| 元素测量范围 | 原子序数Z>=1 (包括C, H, O等有机元素，以及N, Li, Be, B等轻元素，以及几乎所有金属、非金属元素) |
| 浓度范围 | 10ppm至%级别（取决于元素及仪器配置） |
| 分析时间 | 一般20s左右 |
| 样品形态 | 固体或粉末（粉末需要压片后测量）。直接测量，无需特别的样品制备 |
| 样品放置及定位 | XYZ三轴可自由定位样品台，并可以以微米为单位精确位置定位 |
| 样品成像 | 双镜头配置。广角镜头用于大视野观察，高倍放大镜头用于微观精确定位 |
| 最低样品质量 | ~100pg至10 μg（取决于样品） |
| 最大样品尺寸 | 约12.7cm x 22.8cm x 12.7cm |
| 分析光斑尺寸 | 光斑大小可调。最小：<10μm（取决于激光器），最大：500μm |
| 分析深度 | ~1 - 100μm，取决于材料材质及激光器能量设置 |
| 激光能量计量 | 0~400mJ/脉冲+/-5%，可调 |
| 激光器 | Nd:YAG1064nm波长，200mJ/脉冲266nm波长，50mJ/脉冲 |
| 光谱探测器 | 4通道或7通道宽频光谱仪（波长λ = 190 - 950）Echelle中阶梯iCCD高分辨率光谱仪（波长λ = 200 - 900） |
| 所需气体 | 分析C, N, H, O等有机元素时需要少量的氩气或氦气作为保护气 |
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