透射电镜(TEM)和扫描透射电镜(STEM)都是使用电子束使样品成像的相关技术。使用高能电子作用于超薄样本使成像分辨率达1-2埃的数量级。与SEM相比,TEM具有更好的空间分辨率，更适用于若干分析测量。但需要多得多的样品准备. 虽然比大多数其他常见分析工具更费时,但是这些实验的宝贵信息是令人赞叹的。 你不仅可以取得优异图像分辨率、结晶状态、晶向(都以衍射实验模式)、元素图(使用EDS)、突出元素对比度的图象 (暗场模式)-所有这些都来自可精确定位的纳米尺寸大小的面积。STEM和TEM可以作为薄膜及IC样品的最终失效分析工具。
首页
