该技术是20世纪末发展起来的一种新型测量技术，将微量水分析技术提高到了一个新的水平。光纤湿度传感器的表面为具有不同反射系数的氧化硅和氧化锆构成的层叠结构，通过先进的热固化技术，使传感器表面的孔径控制在0.3nm，0.28nm的水分子可以渗入。控制器发射出一束790-820nm的近红外光，通过光纤电缆传送给传感器，进入到传感器的水分子会改变光的反射系数，从而引起波长的变化，该变化量与介质的水分含量成相应的比例关系。通过测量接收到的光的波长，就可以得到介质的露点及水分含量。
优点：精度高，免维护，非常稳定，可测量含H2S、HCL等的腐蚀性介质。
缺点：传输光纤易折断，需要保护。
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