金属氧化物半导体场效应管气敏传感器是基于敏感膜与气体相互作用时漏源电流发生变化的机理制成的,当电流发生变化时,传感器性能发生变化,通过分析器件性能的变化即可对不同的气体进行检测分析。
此类传感器在制备时需要在栅极上涂敷一层敏感薄膜,覆盖不同的敏感薄膜,就构成不同选择性的金属氧化物半导体场效应管气敏传感器,能对 CH4、CO2、NO2 以及有机气体等进行定量检测。通过调整催化剂种类和涂膜厚度,改变传感器的工作温度,使传感器的灵敏度和选择性达到最优。
其主要优点是可批量生产,质量稳定,价格较低等;但芯片不易封装与集成,存在基准漂移,且种类单调,在电子鼻上的应用广泛性不及其他传感器。
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