流量监控
激光尘埃粒子计数器的采样流量一般为 2.83L/min 或 28.3L/min，进口仪器常标识为 0.1cfm（立方英尺每分钟）或 1cfm，主要是为了便于进行符合 Fed-Std-209E 的洁净度的计算。大流量的采样（28.3L/min）更能准确地反映空气的洁净状况，但使最大采样浓度降低。
气泵及过滤器
气泵位于激光尘埃粒子计数器内部，气泵使仪器产生采样流量。气泵要求噪音低、振动小、产生的气流稳定。过滤器应能过滤掉 0.3 μ m 以上的微粒，以免从仪器排出的空气对洁净区产生影响。
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