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扫描电子显微镜(scanning electron microscope)的简称,通过加速电子束轰击样品表面来激发各种信号,如二次电子、背散射电子、俄歇电子、特征X射线等,通过各种接收器可以提取出这些信号,最终得到一系列的图像和数据。