目前有很多方法可以实现X射线荧光光谱分析，因此，为了避免混淆，我们以能量色散X射线荧光光谱分析技术（EDXRF）为例，专注于XRF的细节部分。X射线荧光光谱仪主要包括组成一条信号链的四大子系统：

　　1、X射线管；

　　2、X射线探测器；

　　3、多通道分析器；

　　4、计算机。

　　如上所述，X射线管也即是产生用于激发检测样品的X射线的地方。X射线管具有两种不同类型的X射线源：放射型和高压型。

　　放射型X射线源通常较为简便、体积较小，成本较低；但是，这种放射源不能被关闭，并且会对环境、使用者等造成一定的危害，因此，对于这种类型的X射线源的使用需要进行注册登记，同时对其运输和处理都具有一定的限制，此外，人们还需要对这种放射源进行定期测试。

　　另一方面，因为高压X射线源不含有放射性污染，并且能够被“关闭”，因此对于这类X射线源的使用则没有那么多的限制。但是，高压X射线源需要用到高压电源以产生并释放出所需的X射线。