1. 定点分析:
将电子束固定在要分析的微区上,用波谱仪分析时,改变分光晶体和探测器的位置,即可得到分析点的X射线谱线;用能谱仪分析时,几分钟内即可直接从荧光屏(或计算机)上得到微区内全部元素的谱线。
镁合金中的析出相CaMgSi的鉴别
Spectrum1 位置析出相富含Ca、Mg、Si元素
2. 线分析:
将谱仪(波、能)固定在所要测量的某一元素特征X射线信号(波长或能量)的位置
把电子束沿着指定的方向作直线轨迹扫描,便可得到这一元素沿直线的浓度分布情况。
改变位置可得到另一元素的浓度分布情况。
3. 面分析:
电子束在样品表面作光栅扫描,将谱仪(波、能)固定在所要测量的某一元素特征X射线信号(波长或能量)的位置,此时,在荧光屏上得到该元素的面分布图像。改变位置可得到另一元素的浓度分布情况。也是用X射线调制图像的方法。
镁合金中的析出相Mg2Si的鉴别
Si的元素面分布图,可以清晰地看到Mg2Si所在的位置