入射电子与样品相互作用后，使样品原子较外层电子(价带或导带电子)电离产生的电子，称二次电子。二次电子能量比较低，习惯上把能量小于50 eV电子统称为二次电子，仅在样品表面5 nm-10 nm的深度内才能逸出表面，这是二次电子分辨率高的重要原因之一。
当入射电子与样品相互作用时，入射电子与核外电子发生能量传递，一般几至几十个电子伏特。如果核外电子所获得的能量大于其临界电离能，则该电子可脱离原子成为自由电子，如果这些自由电子离样品表面很近，而且其能量大于相应的逸出能，则可能从样品表面逸出而成为二次电子。二次电子像是表面形貌衬度，它是利用对样品表面形貌变化敏感的物理信号作为调节信号得到的一种像衬度。因为二次电子信号主要来处样品表层5-10 nm的深度范围，它的强度与原子序数没有明确的关系，而对微区表面相对于入射电子束的方向却十分敏感，二次电子像分辨率比较高，所以适用于显示形貌衬度。
首页
