1、电导率不同，纯水电导率在 210us/ cm之间，超纯水的电导率为 0. 056us/ cm；
2、制造的难易程度不同，目前市场上使用的纯水基本上都是经过反渗透和蒸馏两种方法制得，而超纯水是在纯水的基础上还要经过光氧化技术、精处理和抛光处理等一系列复杂的纯化技术制得的。
3、重金属、细菌、微粒数等指标也大不相同，纯水是 ppm级，而超纯水为 ppb级，简单地说超纯水中已经没有什么杂质，接近于理论上的水。
4、使用的领域也不相同；
5、对输送管道材质的要求也不相同，超纯水对输送管道材质的要求要比超纯水严格的多。
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