3D共聚焦显微镜是一种用于信息与系统科学相关工程与技术领域的工艺试验仪器，于2018年2月20日启用。
技术指标
拍摄分辨率不低于700万像素；Z轴行程：50 mm垂直分辨率：＜10nm 水平分辨率： 0.2μm。
主要功能
用于测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。可针对如下需求开展测试：
（1）检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的精密部件；
（2）MEMS，微型器件的检测，医药工程中组织结构的检测，如基因芯片等；
（3）半导体：检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计；
（4）太阳能：电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量。
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