在物理学中，等离子体状态是指物质已全部离解为电子及原子核的状态，而光谱分析中的等离子体概念则不是十分严格，光谱分析中的等离子体仅在一定程度上被电离（电离度在0.1％以上），是包含分子、原子、离子、电子等各种粒子的集合体。

原子光谱分析中的等离子体通常采用气体放电的方法获得，作为原子和离子发射光谱的激发光源。在激发光源中，试样经历其中组分被蒸发为气体分子，气体分子获得能量而被分解为原子，部分原子电离为离子等过程，形成了包含分子、原子、离子、电子等多种气态粒子的集合体，因而这种气体中除含有中性原子和分子外，还含有大量的离子和电子，而且带正电荷的阳离子和带负电荷的电子数相等，使集合体宏观上呈电中性，处于类似于等离子体的状态。

目前应用最广泛的有电感耦合等离子体焰炬（inductively coupled plasma torch）、微波等离子体焰炬（microwave-plasma torch）及直流等离子体喷焰（direct current plasma jet），它们是具有火焰形状的放电光源，不仅外形与火焰相似，时间与空间分布的稳定性也近似火焰，但其光源的温度和电子密度却比通常化学法产生的火焰高得多，在许多方面都具有突出的特点，称为等离子体光源。