扩散泵（diffusion pump）是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。
扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度（约为200度）产生大量的油 蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强。这样，被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动，气体分子碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气 多级压缩，最后由 前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。
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