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致力于为分析测试行业奉献终身
真空获得的主要装置是各种类型的真空泵，而不同类型的真空计则负责真空腔体内的真空测量。根据各类质谱仪器对真空的需求程度，可选择不同类型的真空泵、真空计、真空阀门及相应的电子学控制部件，这些部件和质谱仪的真空室组合成一个完整的真空系统，使质谱仪器能够获得其所需要的真空度，图1为热离子质谱仪的一个真空系统连接示意图。前级泵3和分子泵2负责抽离子源部分的真空，两个离子泵1负责分析室的真空。
图1 热离子质谱仪真空系统连接示意图
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