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物理气相沉积法与化学气相沉积法有何区别

2022.2.10

超级艾蛋木啊

致力于为分析测试行业奉献终身

物理气相沉积法可以看作是物理过程，实现物质的转移，最终沉积到靶材上面。
化学气相沉积法是在一定条件下通过化学反应，形成所需物质沉积在靶材或者基材表面。

气相沉积法

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