白光干涉三维表面轮廓仪的原理和指标

2022.2.20

coco5517

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　　原理

　　利用白光干涉扫描技术为基础研制而成的用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。

　　技术指标

　　垂直扫描范围：30 μm、100μm、5mm、10mm；垂直扫描分辨率：0.01nm；分辨率：752×480像素（可选1k×1k ）；侧向分辨率：0.11-8.8 μm；RMS重复精度：1nm；视场范围：8mm×10mm-0.084mm×0.063mm；校正精度：＜＜0.1%；反射要求：1% -100% 。

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