扩散泵的DIP系列相关介绍

　　该系统是上个世纪九十年代研发的新的大口径扩散泵，对传统的扩散泵作了重大改进.其主要特点有：①抽速大，抽速范围为3000~50000 L/s六种规格。泵壁有上凹槽，冷却水管卧在凹槽内，增大了接触面积、冷却效果好。莱宝公司又于2003年对DIP扩散泵进行了进一步的改进，将水冷管改为水冷夹层。扩散泵的整体改为全不锈钢材质。从而进一步提高DIP系列泵的性能指标。②油蒸汽返流率低。不加外置水冷挡板并使用普通矿物油，其返油率为1×10-3mg/cm2·min；如果采用DC-705硅油，返油率可降至于1×10-4mg/cm2·min；极限压力低于10-6Pa。③抽气曲线上，在入口压力为10-1Pa时达到最大抽速，且抽速稳定。④采用插入扩散泵内部的多支加热棒加热，传热效率高，预热时间短。对于抽速为3000~20000L/s的泵，预热时间少于25min；30000~50000L/s的泵预热时间少于30min。可在不停泵的情况下更换加热棒。⑤装有过热装置，防止泵油过热。通过观察窗可随时观察泵油的质和量。泵上设有注油口和放油口，换油时无须把扩散泵从真空系统中拆下。最大允许前级压力高，为60 Pa。