电感耦合等离子体发射光谱仪法是20世纪60年代提出、70年代迅速发展起来的一种新型分析技术。在分析上的应用领域虽然十分广泛，但是还存在着以下缺点，ICP光谱仪小编为您介绍：
(1)对于固体样品一般需预先转化为溶液，而这二过程往往使检出限变高。
(2)作气体氩气消耗量大导致仪器运行成本增加。
(3)进样系统雾化效率不高导致部分元素在痕量时无法检出。
(4)电感耦合等离子体发射光谱仪发射光谱法只能测定样品中元素的总量，不能对元素进行价态分析，除非和其他分析仪器联用。
(5)RF发生器电路较复杂，容易产生故障导致仪器停机，并且仪器价格比较高、对实验室要求也高、需要单独的电源和接地以及排风系统，所以前期投入比较大。
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