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等离子体光谱仪中必定要产生等离子体，氩气的作用是产生等离子体的电离气体。使用电感耦合的方法将电磁能量耦合给氩气，气体电离成为等离子体，等离子体本身可以释放各种光谱或者和物体相互作用发出物体的特征光谱，光谱仪来分析这些发射的光谱，得到的光谱分布可以用来进行各种分析。PS.ICP就是电感耦合等离子体的英文缩写。
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