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原子力显微镜研究对象可以是有机固体、聚合物以及生物大分子等,样品的载体选择范围很大,包括云母片、玻璃片、石墨、抛光硅片、二氧化硅和某些生物膜等,其中最常用的是新剥离的云母片,主要原因是其非常平整且容易处理。而抛光硅片最好要用30%双氧水的7∶3混合液在90℃下煮1h。利用电性能测试时需要导电性能良好的载体,如石墨或镀有金属的基片。