大部分氧化物具有很高的热稳定性，尤其是IIA和IVB族元素的氧化物、Li2O、Na2O、B2O3、Al2O3、SiO2等，对热不稳定的氧化物较少，例如卤素的氧化物、N2O5、Ag2O、HgO等。短周期元素氧化物的稳定性从左至右递减，唯碱金属元素氧化物的稳定性较碱土金属为差，当我们考虑到M+离子之间的斥力而使M2O的晶格能较低时就不难理解这个“反常”现象了；在同一族里，尤其是副族元素，从上向下热稳定性增强，这是因为，虽然从上向下随着阳离子和阴离子半径之和的增加而减小了晶格能，但随原子半径的增大而减小电离能的效应更为显著，特别是当阳离子的半径比氧离子的半径小时更是这样。
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