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由低功率X射线管发射出的多波长X荧光，经个双曲面弯晶光学元件捕获聚焦，并将具有合适波长可以激发硅元素K层电子的单色X射线照射在装入样品盒中的被测样品上形成小光斑。
单色初级束流激发样品并发射次级特性荧光X射线，通过第二个双曲面弯晶光学元件仅收集由硅元素激发出的波长为0.713nm的KαX射线荧光，并被一合适的探测器测量，然后用校准方程将其转换成被测样品中的硅含量。
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