早期的台式荧光光谱仪使用液氮（LN）致冷探测器Si（Li）LN，每次使用要消耗液氮，也不方便。电致冷硅漂探测器SiPIN出现后，就成为侧RoHS光谱仪探测器的主流。液氮致冷灵敏度较容易达到要求，成本比电致冷的稍微低点，所以现在个别品牌还有液氮的。但现有的电致型都能达到RoHS要求，且有的品牌用Si（Li）PCD电致冷探测器几乎达到的ppb级水平。实际上，在有RoHS之前早就有X射线荧光光谱仪，测RoHS的要求相对来说要求并不太高，所以就派上用场了。
以上两种探测器对测轻元素的灵敏度都不理想（所以美国NITON便携式荧光光谱仪不能测铝等轻元素）。出现了SDD电致冷探测器，提高了对轻金属元素的灵敏度，还能测硅等非金属元素，但价格相对来说又贵了许多。
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